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一文了解紫外波片如何實現高功率應用

紫外激光波長通常介于100nm至400nm之間,這使得它在材料加工領域具備獨特的優勢和廣泛的應用。紫外激光以其高能量密度和短波長的特性而聞名,能夠將能量迅速集中到微小的區域內。因此,它可用于進行精細加工,尤其在微觀尺度上表現突出。


舉例而言,紫外激光刻蝕技術在半導體芯片制造中扮演著核心角色。隨著對紫外激光功率要求的不斷提升,開發紫外高功率波片變得至關重要。



普通紫外高功率低級波片結構通常是將一片石英晶體基底拋光后,在其表面鍍上紫外增透膜

盡管這種工藝能夠確保較高的功率和透過率,但在實際使用中存在以下不足之處:由于紫外波長極短,即使將單片加工到0.05-0.1mm的厚度,波片的級數仍然相對較高。因此,在使用過程中,產品容易因太薄而容易碎裂。在性能方面,波片的寬帶、接收角和溫度穩定性往往難以滿足需求。


為了解決現有波片因單片石英晶體過薄而易破裂的問題, 戴斯光電提出了一種紫外高功率波片設計。通過在石英晶體的一側鍍上紫外增透膜,并添加一片紫外融石英用于支撐石英晶體,將石英晶體置于紫外融石英與紫外增透膜之間。



這種設計利用紫外融石英支撐石英晶體,無需增加石英晶體的厚度,卻能顯著提高其機械強度。

因此,波片得以承受更高功率的紫外波段激光,延長石英晶體的使用壽命并減少破裂風險。相較于傳統的低級波片,此設計在紫外波長下表現出更穩定的溫度性能、更廣泛的接收角范圍和更寬的接收波長帶寬,實現一舉兩得的效果。



*技術演示



利用光膠在第一層和第二層二氧化硅之間形成一層二氧化硅膜,實現了將紫外融石英和石英晶體相連的目的。該波片的結構排列為紫外增透膜/紫外融石英/二氧化硅膜/石英晶體/紫外增透膜。光膠的運用使得紫外融石英、第一層二氧化硅、第二層二氧化硅和石英晶體之間形成了堅固的鍵合,從而能夠承受更高功率的紫外激光。


同時,在波片表面鍍上抗激光損傷的紫外增透膜,提升透過率。


波片技術在各種激光和光學應用中都具有廣泛的應用潛力,可以為相關行業帶來更高效、更可靠的解決方案,推動技術的進步和創新。

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